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用低相干掃描干涉測量法的掃描誤差校正

  • 專利類型:
    發明專利
  • 發  明  人:
    馬克·戴維森 簡·萊塞納 彼得·德格魯特 澤維爾·科洛納德萊
  • 申  請  人:
    齊戈股份有限公司
  • 地        址:
    美國康涅狄格州
  • 狀        態:
    公開
  • 文件大小:
    1.3 MB
  • 公  布  號:
    CN 102057269 A
  • 公  布  日:
    2011.05.11
  • 申  請  號:
    200980120703.5
  • 申  請  日:
    2009.11.23
  • 代理機構:
    北京市柳沈律師事務所 11105
  • 代  理  人:
    邱軍
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專利介紹


一種設備包括寬帶掃描干涉測量系統,該系統包括光學部件,用以結合來自測試物的測試光和參考光,而在探測器上形成干涉圖案。該設備還包括配置為掃描從共用光源至探測器的、所述測試光和參考光之間的光程差(OPD) 的臺,以及包括探測器的探測器系統,用以紀錄一系列的光程差增量的每一者的干涉圖案,每一個光程差增量的頻率定義幀頻。光學部件被配置以產生至少二個監測干涉測量信號,當掃描光程差時,干涉測量信號的每一者表示光程差的變化,探測器系統被配置以紀錄監測干涉測量信號。該設備包括處理器,被配置以對于大于所述幀頻的頻率的OPD 增量,決定所述光程差增量對擾動靈敏度的信息。

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